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微纳加工

  • 分类:产品应用
  • 发布时间:2021-12-27 14:56:22
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微纳加工是一种用于制造微纳米尺度的器件,并且形成大规模集成电路的技术。通过一系列光刻、化学、物理处理步骤,将电子电路逐步形成在纯半导体材料制作的晶片上。硅是今天最常用的半导体材料,其他还有各种复合半导体材料。通常的,微纳加工制程包括光刻、沉积、刻蚀、封装及检测,主要的加工设备包括光刻机,镀膜机,刻蚀机,以及封装检测设备。

韫茂科技目前提供包括4-8寸全自动PVD、ALD、CVD、IBE等多类型工艺制程设备,欢迎咨询。



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