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G100 百克级粉末ALD系统

锂电池粉末或极片,金属粉末,荧光粉末,催化剂粉末等包覆。
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产品编号
所属分类
粉末ALD包覆
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0
产品描述
测试结果
客户文章
G100 Powder ALD 技术参数 Technical Specifications (ZrO2, LiNbO3, Al2O3, LPT, LiS等制备)
样品最大装载量 Capacity 100g(可根据需求定制, 也可放置3D基体及多片平片
样品反应温度 Heating RT-300ºC
前驱体 Max Precursor 最大可包括2组反应气体 8组液态或固态反应前驱体, Max 2 Gas and 8 Liquid/Solid Precursors 
前驱体加热最高温度 Max Precursor Heating  RT-200ºC
包覆均匀性 Uniformity <±3%
成膜速率 Deposition Rate 1-2Å/Cycle (Al2O3)
臭氧发生器Ozone Generator 可选配,生产效率15g/h
人机界面 HMI 全自动化人机操作界面
安全Safety 工业标准安全互锁Industry Safety Interlock,报警Alarm,EMO
百克级粉末ALD系统
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