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全自动四腔超高真空双倾角镀膜系统

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QBT-J

量子计算,超导器件
双腔室超高真空双倾角蒸镀系统

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QBT-E

量子计算,超导器件,半导体。
双腔室超高真空双磁控测射系统

双腔室超高真空双磁控测射系统

QBT-P

量子计算,超导器件,半导体
三腔室超高真空磁控溅射系统

三腔室超高真空磁控溅射系统

QBT-MP

量子计算,超导器件,半导体。
双腔室高真空等离子体ALD系统

双腔室高真空等离子体ALD系统

QBT-A

量子计算,超导器件,半导体。
双腔室高真空高速蒸镀系统

双腔室高真空高速蒸镀系统

QBT-I

量子计算,半导体
单腔室高真空蒸镀系统

单腔室高真空蒸镀系统

QBT-L

量子计算,超导器件,半导体。
桌式ALD系统

桌式ALD系统

MINI

微纳加工,粉末包覆。
百克级粉末ALD系统

百克级粉末ALD系统

G100

锂电池粉末或极片,金属粉末,荧光粉末,催化剂粉末等包覆。
百克级粉末MLD系统

百克级粉末MLD系统

GM100

锂电池粉末或极片,金属粉末,催化剂粉末等包覆。
公斤级粉末ALD系统

公斤级粉末ALD系统

KG

锂电池粉末,金属粉末,催化剂粉末,荧光粉末包覆。
双腔室等离子体硅片及粉末ALD系统

双腔室等离子体硅片及粉末ALD系统

QBT-T

微纳加工,粉末或极片包覆。
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