so
产品中心
为客户提供先进的纳米材料制造装备及服务

首页 /  产品中心  /  产品详情

产品分类

产品详情

浏览量:
1000

QBT-L 单腔室高真空蒸镀系统

零售价
0.0
市场价
0.0
浏览量:
1000
产品编号
数量
-
+
库存:
0
产品描述
测试结果
客户文章
QBT-L 技术参数 Technical Specifications (Au, SiO2等制备)
极限真空 Ultimate Pressure <2E-7Torr
排气速率Pumping Spead 从ATM到5E-6Torr<15min
高分辨率镀膜速率显示及控制 Depostion Rate ±0.015Å
高精准样品加热控制 Wafer Heating RT-300±1ºC
最大基板尺寸Max Wafer Size Ф200mm
前后门设计可集成手套箱 Glove Box 选配手套箱
人机界面 HMI 全自动化人机操作界面
安全Safety 工业标准安全互锁Industry Safety Interlock,报警Alarm,EMO
单腔室高真空蒸镀系统
未找到相应参数组,请于后台属性模板中添加

留言反馈

WRITE A MESSAGE TO US

留言应用名称:
客户留言
描述:
验证码

产品推荐

全自动四腔超高真空双倾角镀膜系统

全自动四腔超高真空双倾角镀膜系统

QBT-J

双腔室超高真空双倾角蒸镀系统

双腔室超高真空双倾角蒸镀系统

QBT-E

双腔室超高真空双磁控测射系统

双腔室超高真空双磁控测射系统

QBT-P

三腔室超高真空磁控溅射系统

三腔室超高真空磁控溅射系统

QBT-MP

上一页
1
厦门韫茂科技有限公司

创新型高端纳米装备制造技术企业,专为泛半导体及新能源提供高端装备及服务。

厦门韫茂科技有限公司

扫码关注公众号

联系我们

地址

厦门市集美区兑英南路255号

客服热线
13606910856 13606910856
服务时间:
8:00 - 18:00
客服组:
在线客服