首页 / 产品中心 / 产品详情
产品分类
HT系列设备采用气相沉积硅碳技术,主要用于锂电池负极材料的硅烷沉积/碳包覆。
产品优势:
·SEMI半导体级别安全管控;
·在真空环境下进行硅烷沉积/碳包覆,可实现高沉积均匀性与高包覆完整性;
·有效装料容积达100-200L,大幅度提高产能,有效降低生产成本;
·优异的批次稳定性与重复性。
留言反馈
WRITE A MESSAGE TO US
创新型高端纳米装备制造技术企业,专为泛半导体及新能源提供高端装备及服务。
产品中心
工业型设备
科研型设备
走进我们
关于我们 产品中心
新闻中心 联系我们
扫码关注公众号
联系我们
13606910856
厦门市集美区集美北大道安仁产业园
info@ym-qbt.com
闽公网安备 35021102001694号
English