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SCA 工业级粉末CVD

SCA工业级粉末CVD可定制10-100kg硅碳负极流化床设备

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工业型设备

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产品描述

测试结果

代表论文

SCA工业级粉末CVD可定制10-100kg硅碳负极流化床设备。主要用于硅碳负极用硅烷沉积，碳包覆。

产品优势：

·半导体级别安全控制；

·均匀性与批次稳定性1σ＜3%；

·可与ALD设备连用，提升安全稳定性。

上一个

生产型粉末ALD

下一个

无

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