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全自动四腔超高真空双倾角镀膜系统

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QBT-J

双腔室超高真空双倾角蒸镀系统

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QBT-E

双腔室超高真空双磁控测射系统

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QBT-P

三腔室超高真空磁控溅射系统

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双腔室高真空等离子体ALD系统

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双腔室高真空高速蒸镀系统

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单腔室高真空蒸镀系统

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QBT-L

桌式ALD系统

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MINI

微纳加工,粉末包覆。
百克级粉末ALD系统

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GM100

锂电池粉末或极片,金属粉末,催化剂粉末等包覆。
公斤级粉末ALD系统

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KG

锂电池粉末,金属粉末,催化剂粉末,荧光粉末包覆。
双腔室等离子体硅片及粉末ALD系统

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QBT-T

微纳加工,粉末或极片包覆。
生产ALD

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