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研发型微纳加工设备
双腔室超高真空双倾角蒸镀系统

双腔室超高真空双倾角蒸镀系统

QBT-E

双腔室超高真空双磁控测射系统

双腔室超高真空双磁控测射系统

QBT-P

三腔室超高真空磁控溅射系统

三腔室超高真空磁控溅射系统

QBT-MP

双腔室高真空等离子体ALD系统

双腔室高真空等离子体ALD系统

QBT-A

双腔室高真空高速蒸镀系统

双腔室高真空高速蒸镀系统

QBT-I

单腔室高真空蒸镀系统

单腔室高真空蒸镀系统

QBT-L

桌式ALD系统

桌式ALD系统

MINI

微纳加工，粉末包覆。
双腔室等离子体硅片及粉末ALD系统

双腔室等离子体硅片及粉末ALD系统

QBT-T

微纳加工，粉末或极片包覆。
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