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双腔室超高真空电子束蒸发镀膜系统

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全自动四腔超高真空双倾角镀膜系统

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QBT-J

QBT-J 采用线性级联技术，集成了进样/预处理、离子铣、蒸发以及氧化四个腔室。整套系统全自动运行，操作简单，易于维护，并且采用抓取传送方式，减少了颗粒物的产生。基于QBT-J系列，客户可研发出高质量的超导器件，在诸多领域有广泛的应用前景。
双腔室高真空高速蒸镀系统

双腔室高真空高速蒸镀系统

QBT-I

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