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超高真空设备

  • 分类:产品应用
  • 发布时间:2021-12-27 14:56:14
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概要:
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当器件对污染物高度敏感, 一般选择在超高真空中进行。真空度越低,器件质量越高。通常的,
会使用多腔体互联及传输,并且选择离子束清洗,磁控溅射、电子束蒸发镀膜,或者氧化退火等工
艺处理模块组合。


韫茂提供全栈式超高真空互联设备及方案,欢迎咨询。
 

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