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科研型设备
全自动四腔超高真空双倾角镀膜系统

全自动四腔超高真空双倾角镀膜系统

QBT-J

双腔室超高真空双倾角蒸镀系统

双腔室超高真空双倾角蒸镀系统

QBT-E

双腔室超高真空磁控溅射系统

双腔室超高真空磁控溅射系统

QBT-P

三腔室超高真空磁控溅射系统

三腔室超高真空磁控溅射系统

QBT-MP

桌式ALD系统

桌式ALD系统

MINI

广泛应用于半导体、纳米催化剂、光学薄膜制备、航空航天、钙钵矿太阳能电池等
双腔室高真空等离子体ALD系统

双腔室高真空等离子体ALD系统

QBT-A

双腔室高真空高速蒸镀系统

双腔室高真空高速蒸镀系统

QBT-I

研发型粉末ALD

研发型粉末ALD

GM

应用于锂电池、催化剂、量子点、金属及陶瓷粉末、药物、纳米材料等
双腔室等离子体硅片及粉末ALD系统

双腔室等离子体硅片及粉末ALD系统

QBT-T

微纳加工，粉末或极片包覆。
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创新型高端纳米装备制造技术企业，专为泛半导体及新能源提供高端装备及服务。

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