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研发型粉末ALD

研发型粉末ALD

GM

应用于锂电池、催化剂、量子点、金属及陶瓷粉末、药物、纳米材料等
双腔室等离子体硅片及粉末ALD系统

双腔室等离子体硅片及粉末ALD系统

QBT-T

微纳加工，粉末或极片包覆。
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