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桌式ALD系统

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MINI

广泛应用于半导体、纳米催化剂、光学薄膜制备、航空航天、钙钵矿太阳能电池等
双腔室高真空等离子体ALD系统

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QBT-A

双腔室等离子体硅片及粉末ALD系统

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微纳加工，粉末或极片包覆。
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