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半导体领域
MPCVD

MPCVD

应用于热沉芯片、第四代高功率半导体、珠宝制造等领域
批次等离子体ALD

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PBATCH

广泛应用于先进光学薄膜（AR）、第三代半导体、集成电路制造等领域
碳化硅外延CVD系统

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SICE-Y6

应用于导电型SiC功率器件：电动汽车/充电桩、光伏新能源、轨道交通等
新型多片批次型ALD

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CBATCH 100S

应用于Mini/Micro OLED/LED、激光器件、功率器件、MEMS等
新型多片批次型ALD

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CBATCH 300S

应用于Mini/Micro OLED/LED、激光器件、功率器件、MEMS等
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