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CBATCH 100S 新型多片批次型ALD
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半导体领域
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CBATCH 100S 是用于 4inch LED 生产线的原子层沉积系统，面向图形化和平面蓝宝石衬底微纳器件氧化层封装镀膜的需要。
该系统主要由工艺腔、运动控制系统和上下料平台组成。其中，工艺模块用于为基片进行工艺提供环境。
产品优势：
•专利的架构设计，有效提高产能，降低COO；
•可扩展模块设计，产能、腔体增加同时保证镀膜质量；
•独特气流设计，多片镀膜保持良好的WIW均匀性 NU<1.5%,W2W<2.5%,B2B<2.5%，前驱体消耗量更少；
•独特的尾气排放处理，真空泵维护周期更久，节省客户使用成本。
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