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MPCVD

应用于热沉芯片、第四代高功率半导体、珠宝制造等领域
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半导体领域
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MPCVD 可实现高质量金刚石单晶、多晶薄膜生长,用于核心的第四代宽禁带半导体器件制造。

MPCVD沉积速率低,限制了生产效率,大面积、高均匀性MPCVD可大幅提高产能,降低客户使用成本。

 

产品优势:

能够实现全自动、自动化生产;
创新的设计带来产品良率大幅提升;
创新的高均匀性、偏压设计能够实现更高的金刚石薄膜质量;
工业标准安全互锁、报警、EMO。
MPCVD
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