超高真空设备

当器件对污染物高度敏感， 一般选择在超高真空中进行。真空度越低，器件质量越高。通常的，
会使用多腔体互联及传输，并且选择离子束清洗，磁控溅射、电子束蒸发镀膜，或者氧化退火等工
艺处理模块组合。

韫茂提供全栈式超高真空互联设备及方案，欢迎咨询。