产品分类
广泛应用于锂电池、先进光学、Mini/Micro LED, 超导材料和器件，化合物半导体，硅集成电路等领域
应用领域
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先进光显韫茂自主研发的批次式 Thermal ALD 及 PEALD，可应用于 Mini/Micro LED、光通讯、光芯片、先进光学、AR/VR 等前沿领域。
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半导体韫茂自主研发的碳化硅外延CVD 、金刚石MPCVD、PECVD以及ALD，分别服务于第三代、第四代以及硅基集成电路半导体市场，通过定制化设备解决方案加速新一代半导体材料及器件的产业化进程。
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新能源韫茂工业化粉末 ALD、CVD 实现规模化量产，其创新工艺已应用于锂电池等新能源行业。
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前沿科技韫茂超高真空设备平台致力于超洁净环境下的高质量薄膜沉积，技术路线覆盖PVD物理气相沉积设备（磁控溅射、蒸发镀膜）与ALD原子层沉积设备。
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关于韫茂
北京韫茂量子科技股份有限公司，于2018年创立，专注于原子级前沿工艺的创新研发与产业化应用，针对先进制造国产化的痛点，韫茂推出了多款国内首创前沿领域工业型设备，已形成了以下一代ALD、PVD、CVD、EPITAXY系统等一系列前沿工艺装备为核心的产品矩阵。
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2018创立时间 -
30+产品数量 -
100%售后保障
