先进光显

韫茂自主研发的批次式 Thermal ALD 及 PEALD，可应用于 Mini/Micro LED、先进光学、AR/VR 等前沿领域。

半导体

韫茂碳化硅外延 CVD 设备、金刚石 MPCVD 设备、PECVD，分别服务于第三代、第四代以及硅基集成电路半导体市场，通过定制化设备解决方案加速新一代半导体材料及器件的产业化进程。

新能源

韫茂工业化粉末 ALD、CVD 实现规模化量产，其创新工艺已应用于锂电池等新能源行业。

前沿器件应用

韫茂超高真空设备平台，包括物理气相沉积设备和原子层沉积设备。