PBATCH 批次等离子体ALD PBATCH-A300 批次等离子体ALD（EFEM可选） Multi PBATCH 批次等离子体ALD（EFEM可选）

CBATCH 100s 批次热ALD CBATCH 300s 批次热ALD

QBT-A 300 CLUSTER 高真空等离子体 ALD 集群系统

QBT-A
双腔室高真空等离子体ALD MINI 科研型桌式ALD QBT-ADS 双腔高真空双面镀膜PEALD设备

PVD100
双腔室高真空磁控溅射系统 QBT-P
双腔室超高真空磁控溅射系统 QBT-P L3
三腔室超高真空磁控溅射系统

QBT-MPV
双腔室多靶枪公转超高真空磁控溅射系统

QBT-MPC
双腔室多靶枪共聚焦超高真空磁控溅射系统 QBT-MPC 2000 双腔室多靶枪共聚焦超高真空磁控溅射镀膜系统

QBT-MPL3 多腔室超高真空磁控溅射系统 QBT-MPL4 四腔室多靶枪共聚焦超高真空磁控溅射系统