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12 inch ALD
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QBT-A 300 CLUSTER 高真空等离子体 ALD 集群系统
QBT-A300 Cluster 作为QBT-A系列升级产品,兼顾研发与量产双重需求,全面延续其成熟稳定的工艺性能,支持热法、PE两种模式,始终保持低氧含量薄膜沉积的核心优势。核心升级两大关键配置:一是引入超高真空传输平台,优化样品传输真空环境,隔离污染、降低杂质含量,强化氧杂质抑制,为高端薄膜制备提供可靠保障;二是搭载2 foup的Efem(前端模块)系统,大幅提升传输效率与自动化水平,实现多批次样品高效流转,适配中试及量产需求。
QBT-J 300 超高真空互联多腔体互联约瑟夫森结制造系统
QBT-J 300 为符合半导体标准的超高真空多腔体互联系统,集成了设备前端模块、进样室、出样室、中央传输模块、预处理腔体、离子束刻蚀腔体、电子束蒸发腔体以及氧化腔体,整套系统配备人机交互系统,可以对接天车系统,采用FOUP进样,工艺过程可以全自动运行,同时满足低颗粒度工艺需求,制造高质量的约瑟夫森结器件。