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12 inch ALD
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QBT-A 300 CLUSTER 高真空等离子体 ALD 集群系统
QBT-A300 Cluster 作为QBT-A系列升级产品，兼顾研发与量产双重需求,全面延续其成熟稳定的工艺性能，支持热法、PE两种模式，始终保持低氧含量薄膜沉积的核心优势。核心升级两大关键配置：一是引入超高真空传输平台，优化样品传输真空环境，隔离污染、降低杂质含量，强化氧杂质抑制，为高端薄膜制备提供可靠保障；二是搭载2 foup的Efem（前端模块）系统，大幅提升传输效率与自动化水平，实现多批次样品高效流转，适配中试及量产需求。
QBT-J 300 超高真空互联多腔体互联约瑟夫森结制造系统
QBT-J 300 为符合半导体标准的超高真空多腔体互联系统，集成了设备前端模块、进样室、出样室、中央传输模块、预处理腔体、离子束刻蚀腔体、电子束蒸发腔体以及氧化腔体，整套系统配备人机交互系统，可以对接天车系统，采用FOUP进样，工艺过程可以全自动运行，同时满足低颗粒度工艺需求，制造高质量的约瑟夫森结器件。
