MINI 科研型桌式ALD
产品概况
MINI是一款尺寸超小、操作简单、功能强大的桌面式ALD系统，它可以在4寸晶圆和微纳米粉体上实现均匀可控的原子层沉积，是先进能源材料、新型纳米材料研究与应用的最佳研发工具。微纳加工首选工具。
技术优势
外形尺寸(L x W x H)：550 x 470 x 470 (mm)
重量：50kg
电源：220VAC 50HZ 额定功率：1.5kW/7A，峰值功率：2.2kW/10A
样品尺寸：最大支持6英寸晶圆，兼容碎片；样品高度≤3mm
极限真空：≤50 mTorr
工艺温度：室温至360℃
前驱体温度：最高温度180℃
产品视频
应用领域
FAQ
MINI有什么亮点和特色？
集成化程度高，仅有烤箱大小，小巧紧凑。工艺丰富，可以制备HfO2，ZnO，Al203，TiO2等
MINI具体可以应用于哪些领域？
半导体领域：High-K电解质、超级电容器、二极管等；纳米催化剂领域：光催化、电化学催化；钙钛矿太阳能电池
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