TEM 桌面式ALD
产品概况
TEM 桌面式ALD是一款尺寸超小、操作简单、功能强大的桌面式ALD系统，它可以在4/6寸晶圆和微纳米粉体上实现均匀可控的原子层沉积，是先进能源材料、新型纳米材料研究与应用的最佳研发工具。微纳加工首选工具。
技术优势
小巧、安静、便捷
抽屉式装载；全自动人机操作界面
4路源瓶接入，专利设计减少管路死区及冷区
工业级安全控制，是先进能源材料、新型纳米材料研究与应用的最佳研发工具
产品视频
应用领域
FAQ
MINI有什么亮点和特色？
集成化程度高，仅有烤箱大小，小巧紧凑。工艺丰富，可以制备HfO2，ZnO，Al203，TiO2等
MINI具体可以应用于哪些领域？
半导体领域：High-K电解质、超级电容器、二极管等；纳米催化剂领域：光催化、电化学催化；钙钛矿太阳能电池
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