韫茂科技自主研发的【MINI】是一款紧凑型高端桌式热原子层沉积系统，最适合实验室使用，功能强大，操作简单，可以在4/6寸晶圆和微纳米粉体上实现均匀可控的原子层沉积。

MINI包含流动法及动静态法，可实现高深宽比结构均匀镀膜、薄膜叠层工艺，能够精确控制元素比例。

1、占地面积小，最适合实验室，可放置于桌面操作

2、全自动化人机界面，维护简单

3、具有极佳的工艺重复性，可精准控制不同元素比例的原子层沉积

4、可沉积各类氧化物薄膜/粉末，可实现不同薄膜的叠层工艺

1、沉积温度：室温至360℃

2、重量：约70kg

3、毫秒级响应；样品装载4/6 inch

4、极限真空：≤50 mTorr

工艺展示：

半导体、传感器、光学、钙钛矿、锂电池、纳米材料、催化剂、电镜样品（透明导电、high-k、氧化物、金属、 氮化物等）

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