微纳加工

分类：产品应用
发布时间：2021-12-27 14:56:22
访问量：0

概要:

详情

微纳加工是一种用于制造微纳米尺度的器件，并且形成大规模集成电路的技术。通过一系列光刻、化学、物理处理步骤，将电子电路逐步形成在纯半导体材料制作的晶片上。硅是今天最常用的半导体材料，其他还有各种复合半导体材料。通常的，微纳加工制程包括光刻、沉积、刻蚀、封装及检测，主要的加工设备包括光刻机，镀膜机，刻蚀机，以及封装检测设备。

韫茂科技目前提供包括4-8寸全自动PVD、ALD、CVD、IBE等多类型工艺制程设备，欢迎咨询。