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粉末ALD

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KG 生产型粉末ALD

广泛应用于锂电池、催化剂、金属及陶瓷粉末、药物、纳米材料等

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工业型设备

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产品描述

测试结果

代表论文

KG系列粉末ALD包覆设备可用于电池、催化剂、磁性材料等材料的高精度包覆量产。该系统能够包覆原子层级到纳米层级的范围内的厚度，具有超高灵敏度、均一性和重复性，并具有高自动化程度，操作方便、扩展灵活。

产品优势：

•采用韫茂科技独有的ALD粉体技术；

•立式提料分散，配合底部进气方案，保证粉体与前驱体充分接触，有效提高包覆均匀性和高覆盖率；

•包覆大比表面积材料的厚度仅为传统方式的1/100，甚至1/1000；

•包覆材料品质优异，材料成分可实现原子层级别单相或多相设计；

•KG系列设备的样品装载量最大每批次可达百公斤，大幅降低生产制造成本；

•批次包覆均匀性＜±3%，精度可达原子级别；

•可提升量子点、锂电池、催化剂等的循环寿命、安全性以及耐温耐压性。

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碳化硅外延CVD

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工业级粉末CVD

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