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产品详情
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KG 生产型粉末ALD
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粉体领域
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产品描述
测试结果
客户文章
KG系列粉末ALD包覆设备主要用于各种锂电池材料相关的研究。该系统能够包覆原子层级到纳米层级的范围内的厚度,具有超高灵敏度、均一性和重复性;全自动原位厚度测试系统,应保证实时观测生长速率及厚度功能。
系统具有较高整体性和稳定性,并具有较高的自动化程度,操作方便、扩展灵活。
产品优势:
•产品可定制,适用于小批量量产开发设计;
•立式提料分散,配合底部进气方案,保证粉体与前驱体充分接触,有效提高包覆均匀性;
•专利设计的高温真空旋转密封装置,实现粉体搅拌分散工况下的真空密封功能,确保工艺稳定性;
•多阀组设计,实现最佳前驱体输送控制,保证可重复性和易于维护。

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