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产品描述
测试结果
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| GM100 Powder ALD 技术参数 Technical Specifications (Al2O3或Alucone等制备) | |
| 样品最大装载量 Capacity | 100g(可根据需求定制), 也可放置3D基体及多片平片 |
| 样品反应温度 Heating | RT-300ºC |
| 前驱体 Max Precursor | 最大可包括2组反应气体 5组液态或固态反应前驱体, Max 2 Gas and 5 Liquid/Solid Precursors |
| 前驱体加热最高温度 Max Precursor Heating | RT-200ºC |
| 包覆均匀性 Uniformity | <±3% |
| 成膜速率 Deposition Rate | 1-2Å/Cycle (Al2O3或Alucone) |
| 臭氧发生器Ozone Generator | 可选配，生产效率15g/h |
| 人机界面 HMI | 全自动化人机操作界面 |
| 安全Safety | 工业标准安全互锁Industry Safety Interlock，报警Alarm，EMO |
| 其他选配 Optional | 手套箱 Glovebox，RGA，QCM，MLD |
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