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CBATCH 100S 批次热ALD

应用于Mini/Micro OLED/LED、激光器件、功率器件、MEMS等
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所属分类
工业型设备
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1
产品描述
测试结果
代表论文

CBATCH 100S 是用于 4inch LED 生产线的原子层沉积系统，面向图形化和平面蓝宝石衬底微纳器件氧化层封装镀膜的需要。

该系统主要由工艺腔、运动控制系统和上下料平台组成。其中，工艺模块用于为基片进行工艺提供环境。

 

产品优势：

•专利的架构设计，有效提高产能，降低COO；
•可扩展模块设计，产能、腔体增加同时保证镀膜质量；
•独特气流设计，多片镀膜保持良好的WIW均匀性 NU<1.5%,W2W<2.5%,B2B<2.5%，前驱体消耗量更少；
•独特的尾气排放处理，真空泵维护周期更久，节省客户使用成本。
  
批次热ALD
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