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工业型设备 相关产品
ALD
Powder ALD/CVD
PVD
QBT-J 300 超高真空互联多腔体互联约瑟夫森结制造系统
QBT-J 300 为符合半导体标准的超高真空多腔体互联系统,集成了设备前端模块、进样室、出样室、中央传输模块、预处理腔体、离子束刻蚀腔体、电子束蒸发腔体以及氧化腔体,整套系统配备人机交互系统,可以对接天车系统,采用FOUP进样,工艺过程可以全自动运行,同时满足低颗粒度工艺需求,制造高质量的约瑟夫森结器件。
QBT-P300 Cluster 超高真空磁控溅射集群系统
具备超高真空背景环境,全自动操作,可在高温和常温下实现高质量钽膜生长,钽膜的Tc超过4.25 K,剩余电阻比大于6,用于制备低损耗超导电路,单光子品质因数超过100万,且对应的量子比特相干时间超过250μs。