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捷报频传 | 韫茂科技展示最新成果

韫茂科技2024-11-01

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国内首家百公斤粉末ALD导入客户量产

国内自主知识产权的百公斤级粉末ALD成功导入高性能锂电池材料生产,实现高精度正负极材料纳米级包覆。






国内首家高性能光学ALD批量出货

国内自主知识产权的高性能光学ALD批量出货,助力下一代先进光学制造。






大面积碳化硅外延实现Sub1%厚度及掺杂均匀性

10月30日-31日,韫茂科技应邀参加“2024化合物半导体先进技术及应用大会”,并发表主题为“大面积碳化硅外延进展”的演讲。会议上,韫茂科技围绕公司基本情况、产品布局、大面积碳化硅外延、高介质材料ALD生长等方面展开了精彩演讲。



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