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CIOE2025 | 韫茂科技与您相约中国光博会
2025-08-28
韫茂科技
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企业与展会介绍
厦门韫茂科技有限公司作为国家级专精特新“小巨人”企业，始终专注于纳米级薄膜沉积技术的研发与产业化。其ALD、PVD、CVD等核心设备在光学领域实现了多项突破性应用，包括批次等离子体ALD和批次热式ALD，可精准制备高透光率、低缺陷的光学薄膜，广泛应用于超构表面器件、Mini/Micro LED显示镀膜及红外增透膜等领域，有效填补了国产高端光学设备的空白。
在即将到来的2025年中国国际光电博览会（CIOE）上，韫茂科技将携全自动光学镀膜设备及创新工艺重磅亮相，展出的前沿技术与本届光博会“精密光学”“新型显示”“AR & VR”等主题高度契合。韫茂将进一步推动国产化高端光学装备在先进光显等领域的规模化应用，深化与光电产业链的协同创新，为我国光电产业向高精度、智能化转型升级提供关键支撑。
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展位指引
7号馆7D56
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参展产品
PRODUCT
PBATCH批次等离子体ALD
应用于先进光学薄膜（AR）、第三代半导体、集成电路制造等领域
● 全自动、多片、大批量生产，产能业界领先
● 可在整个镜片的外表面及3D微纳结构上进行保形沉积
● 可在同一工艺腔室内实现等离子体清洗，及SiO2、Al2O3、TiO2等不同薄膜的任意组合交替沉积
● 可沉积可见光范内反射率R<0.1%的光学薄膜
CBATCH批次热ALD
应用于光学薄膜、Mini/Micro OLED/LED、激光器件等领域
● 全自动、多片、连续化生产，现市场上最大产能的热ALD，大幅降低COO
● 实现高深宽比结构的高质量热ALD镀膜，薄膜无针孔，质量高
● 均一性≤1.5%，多片镀膜保持良好的WIW均匀性NU<1.0%，W2W<1.5%，B2B<2.0%
QBT-E 双腔室超高真空电子束蒸发镀膜系统
应用于先进光波导 、倾斜光栅、光学器件镀膜
● 超高真空腔体电子束蒸发系统
● 基板可实现±180°倾斜及360°旋转，0.1°的高精度精确控制
● 可集成离子源，实现离子束辅助沉积工艺
● 高度可靠和可重复的基板传输能力
● 全自动化人机操作界面
QBT-A 双腔室高真空等离子体ALD
可实现氮化物薄膜的极低氧含量，应用于微、纳光电子器件、高品质光学和光电子薄膜的研发与制造
● 高薄膜致密度
● 可在平面、异形曲面、复杂三维结构、多孔基板上沉积高纯度ALD薄膜
● 具有优异的台阶覆盖性
● 适用于从低温到高温的全温度范围内等离子体ALD薄膜生长（MAX500℃）
先进能源材料、新型纳米材料研究与应用的最佳研发工具
● 小巧（市场上占地面积最小的桌式ALD）
● 安静、便捷，全自动人机操作界面
● 4组快拆式前驱体，抽屉式装载，人机交互简单便捷
● 可在4/6寸晶圆和微纳米粉体上实现均匀可控的原子层沉积
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